技術(shù)特點(diǎn)  Features  

· 產(chǎn)能：400片/批，9600片/小時(shí)（210硅片）,480片/批，12000片/小時(shí)（182硅片）。

· 支持多種添加劑技術(shù)。

· 支持最薄120μm硅片。

· 潔凈區(qū)域干燥，自潔凈系統(tǒng)。

· 快速換液，在線換液。

· 支持MES、RFID及選配在線稱重功能。